半导体

SiC 晶圆抛光的信赖之选

我们提供粒度分布 (PSD) 极其稳定、批次间一致性极高的金刚石研磨液。有效提升材料去除率 (MRR),同时最大限度减少划痕和表面缺陷,显著提高您的晶圆成品率。

深耕超硬材料研磨领域多年,我们专注于金刚石及组团磨料研磨液的研发与制造。凭借对精密抛光工艺的深刻理解,我们持续为半导体衬底、精密陶瓷及光学材料加工提供专业级的表面处理解决方案。

我们坚持以材料科学为核心,通过精准控制磨料的微观形貌与配方化学,追求极致的切削效率与表面平整度。每一款产品都经过严格的性能验证,旨在攻克第三代半导体等硬脆材料加工中的复杂难题。

作为众多半导体制造企业的合作伙伴,我们致力于通过稳定的批次质量与全方位的技术支持,优化客户的生产工艺。我们不仅提供高品质的研磨液产品,更通过降低单片加工成本,协助客户在竞争激烈的市场中保持优势。

显著缩短加工周期

专为第三代半导体碳化硅(SiC)定制研发。凭借高浓度的金刚石组团磨料技术,我们的研磨液在保持高切除率的同时,能有效应对碳化硅极高的莫氏硬度。

相较于传统磨料,可缩短研磨工时 30% 以上,助力企业实现晶圆加工产能的高效攀升。

显著缩短加工周期

大幅降低亚表面损伤

精控的‘双峰粒度’内部结构与球形形貌,确保了研磨过程中受力极其均匀。

我们的金刚石研磨液能够产生极佳的表面平整度(TTV),并显著抑制晶圆表面的微划痕与亚表面损伤层深度,为后续的CMP化学机械抛光工序提供完美的表面基础,大幅提升晶圆最终良品率。

大幅降低亚表面损伤

确保工艺的一致性与低成本

采用先进分散技术,长期悬浮不结块;

优异润滑性能防止崩边并保护研磨垫;

批次高度稳定,显著降低单片晶圆加工成本。

工艺的一致性

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